三趣看

第415章 参观基地2（第2页）

“EUV光刻胶，那是光刻机皇冠上的宝石。以前全被日本JSR和信越化学垄断了。他们卡我们的脖子，卖给我们的都是落后两代的货色，还爱卖不卖的。”

女博士咬了咬牙，显然以前没少受气。

“但是现在，我们有了这个！”

她举起那个深褐色的小瓶子：

“按照您给的‘化学放大型’配方，我们合成出了这种新型光刻胶。”

“它的感光度极高，只需要极少的EUV光就能发生反应。而且，它的分辨率能达到5纳米级别！边缘粗糙度极低！”

“我们做了对比测试，性能比日本最顶级的货还要好30%！而且成本只有他们的一半！”

女博士激动得眼圈都红了，声音哽咽：

“老板，有了这个，我们就再也不用看日本人的脸色了！这是咱们中国人自己的配方！是您给我们的配方！”

“您知道吗？当我们把这个配方做出来的时候，大家都觉得不可思议。这种分子结构的组合，这种引发剂的选择，完全颠覆了现有的教科书。老板，您在材料学上的造诣，简直让我们这些博士汗颜。您要是还有关于底部抗反射涂层（bARc）的新想法，一定要告诉我们啊！我们现在干劲十足，就等着您的新指示呢！”

除了光刻胶，还有掩膜版。

那是芯片电路图的底片。

“这是EUV掩膜版。”

另一位工程师拿出一块黑色的板子，小心翼翼地放在测试台上。

“它不再是透明的玻璃，而是一块反射镜。上面覆盖了特殊的吸收层。”

“这种结构，能承受EUV光的高能轰击而不变形。这是我们按照您的‘无缺陷多层膜沉积’技术做出来的。”

“全球独一份！ASmL之前还在用透射式的思路呢，当然现在他们已经不存在了！”

工程师看着林平安，眼神热切：“老板，您这脑子里到底还装了多少好东西？能不能一次性都拿出来？让我们也跟着您一起见证奇迹！”

……

从5层到16层。

林平安一层层地走过，一项项地验收。