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第415章 参观基地2(第1页)

“您给的那个抛光算法,简直就是数学上的艺术品!我们几个老家伙研究了好几宿,越看越觉得深不可测。老板,您要是还有这种算法,可千万别藏着掖着,给我们开开眼吧!”

林平安看着那面仿佛能吸走灵魂的镜子,满意地点了点头。这就是EUV光刻机的“眼睛”。没有它,再好的光也刻不出电路图。

“还有这个,双工件台。”

李工又带着林平安来到了另一个车间。

这里,两个巨大的金属台正在高速运动。它们就像是在冰面上滑行一样,无声无息,却快如闪电。

“以前的光刻机,只有一个台子。曝光的时候不能测量,测量的时候不能曝光。效率太低,就像是一个人干两份活。”

“而这个双工件台,一个在曝光,另一个就在旁边测量、对准。两不耽误!效率直接翻倍!”

李工指着那两个台子,它们在磁悬浮导轨上飞速穿梭,速度快得惊人,却又稳如泰山。

“这就是那个‘磁悬浮平面电机’技术!加速度能达到2G,定位精度却能控制在几纳米!”

“老板,这简直就是机械工程的奇迹!有了这个,我们的光刻机生产效率,绝对吊打尼康和佳能!”

“当初我们看到图纸的时候,都觉得这是科幻小说里的东西。怎么可能在这么高的速度下还能保持纳米级的精度?但是,当我们按照您的控制逻辑把代码敲进去之后……”

李工激动得胡子都在抖:

“它真的跑起来了!而且比我想象的还要稳!老板,这种控制算法,您到底是怎么想出来的?这比现在的工业控制理论先进了至少二十年啊!您要是还有关于运动控制的资料,能不能再给我们讲讲?”

周围的年轻工程师们看着那两台不知疲倦工作的机器,眼中满是自豪,也满是对林平安的崇拜。在他们心里,老板已经不是商人,而是无所不知的科技之神。

……

最后,林平安来到了第十三层。

材料学实验室。

这里的味道有些刺鼻,那是各种化学试剂的味道。但这刺鼻的味道,在科研人员闻来,却是最香甜的胜利果实。

“老板,您要的光刻胶,配出来了!”

一位戴着厚厚眼镜的女博士迎了上来。她是这一层的负责人,专门研究高分子材料。她手里拿着一个小小的玻璃瓶,像捧着稀世珍宝。

“EUV光刻胶,那是光刻机皇冠上的宝石。以前全被日本JSR和信越化学垄断了。他们卡我们的脖子,卖给我们的都是落后两代的货色,还爱卖不卖的。”

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